Збудження первинних коливань в мікромеханічних вібраційних гіроскопах - Apostolyuk, V. O. (Військово-технічний збірник, 2011)
В цій статті було розроблено та вивчено математичні моделі електростатичного гребінчастого двигуна, який широко використовується у багатьох мікроелектромеханічних системах та системах збудження первинних коливань для мікромеханічних вібраційних гіроскопів. Представлено просту наближену математичну модель для ємностей та елктростатичних сил, діючих у зустрічно-штирьових структурах, яка привела до знаходження оптимальних режимів роботи системи збудження. На основі аналізу нелінійних ємностей було сформульовано рекомендації до проектування гребінчастих структур. Отримана модель дозволяє аналізувати не тільки лінійні, але і нелінійні феномени у фізиці таких структур. Представлена математична модель достатньо проста, щоб її використовувати замість чисельного моделювання, що потребує багато часу, а також для подальшого покращення характеристик мікромеханічних сенсорів.